было бы невозможно. Вместо этого компания решила собирать системы из компонентов, тщательно закупаемых у поставщиков по всему миру. Зависимость от других компаний при поставке ключевых компонентов несла в себе очевидные риски, но ASML научилась ими управлять. В то время как японские конкуренты пытались создавать все своими силами, ASML могла покупать лучшие компоненты на рынке. Когда компания сосредоточилась на разработке EUV-инструментов, ее способность интегрировать компоненты из разных источников стала ее главной сильной стороной.

Второй сильной стороной ASML неожиданно оказалось ее расположение в Нидерландах. В 1980-1990-е годы компания считалась нейтральной в торговых спорах между Японией и США. Американские фирмы рассматривали ее как надежную альтернативу Nikon и Canon. Например, когда американская компания Micron, создающая DRAM, захотела приобрести инструменты для литографии, она обратилась к ASML, а не к одному из двух основных японских поставщиков, каждый из которых имел тесные связи с конкурентами Micron по производству DRAM в Японии.

История выделения ASML из Philips помогла и в неожиданном плане - она способствовала установлению тесных отношений с тайваньской компанией TSMC. Компания Philips была краеугольным инвестором TSMC, передав молодому литейному заводу свои технологии производства и интеллектуальную собственность. Это обеспечило ASML встроенный рынок, поскольку фабрики TSMC были спроектированы на основе производственных процессов Philips. Помог и случайный пожар на заводе TSMC в 1989 году, заставивший TSMC приобрести дополнительно девятнадцать новых литографических машин, оплаченных по страховке от пожара. И ASML, и TSMC начинали как небольшие фирмы на периферии индустрии микросхем, но они росли вместе, образовав партнерство, без которого современный прогресс в области вычислительной техники остановился бы на месте.

Партнерство между ASML и TSMC стало свидетельством третьей "литографической войны" 1990-х годов. Это было политическое соревнование, хотя мало кто в промышленности и правительстве предпочитал думать в таких терминах. В то время США праздновали окончание холодной войны и получали дивиденды мира. Если судить по технологической, военной или экономической мощи, то США возвышались над остальным миром, как над союзниками, так и над противниками. Один влиятельный комментатор объявил 1990-е годы "однополярным моментом", в котором господство Америки было неоспоримым. Война в Персидском заливе продемонстрировала ужасающую технологическую и военную мощь Америки.

Когда в 1992 г. Энди Гроув готовился одобрить первые крупные инвестиции Intel в исследования в области EUV-литографии, было легко понять, почему даже индустрия микросхем, вышедшая из военно-промышленного комплекса времен холодной войны, пришла к выводу, что политика больше не имеет значения. Гуру менеджмента обещали в будущем "мир без границ", в котором прибыль, а не власть будет определять глобальный бизнес-ландшафт. Экономисты говорили об ускорении процесса глобализации. И руководители компаний, и политики приняли эти новые интеллектуальные веяния. Тем временем компания Intel вновь оказалась на вершине полупроводникового бизнеса. Она отбилась от японских конкурентов и теперь практически монополизировала мировой рынок микросхем, на которых работают персональные компьютеры. С 1986 года компания получает прибыль каждый год. Почему она должна беспокоиться о политике?

В 1996 г. Intel создала партнерство с несколькими лабораториями Министерства энергетики США, которые обладали опытом в оптике и других областях, необходимых для обеспечения работы EUV. Intel привлекла к участию в консорциуме полдюжины других чипмейкеров, но Intel оплачивала большую часть работы и была "95-процентной гориллой" в комнате, как вспоминал один из участников. Intel знала, что исследователи из Национальных лабораторий Лоуренса Ливермора и Сандии обладают достаточным опытом для создания прототипа системы EUV, но их внимание было сосредоточено на научных разработках, а не на массовом производстве.

По словам Каррутерса, цель Intel - "создавать вещи, а не только измерять их", поэтому компания начала поиск фирмы, которая могла бы коммерциализировать и серийно выпускать инструменты для EUV. В результате выяснилось, что ни одна американская компания не может этого сделать. GCA больше не существует. Крупнейшей американской компанией, занимающейся литографией, оставалась Silicon Valley Group (SVG), которая отставала в технологическом плане. Правительство США, еще не отошедшее от торговых войн 1980-х годов, не хотело, чтобы японские компании Nikon и Canon сотрудничали с национальными лабораториями, хотя сама Nikon не считала, что технология EUV может быть эффективной. Единственной литографической компанией осталась ASML.

Идея предоставить иностранной компании доступ к самым передовым исследованиям, проводимым в национальных лабораториях Америки, вызвала ряд вопросов в Вашингтоне. Непосредственного военного применения технологии EUV не было, и до сих пор не было ясно, будет ли EUV работать. Тем не менее, если это произойдет, то США будут зависеть от компании ASML в части инструмента, имеющего фундаментальное значение для всех вычислительных систем. За исключением нескольких чиновников в Министерстве обороны, почти никого в Вашингтоне не волновало. Большинство рассматривало ASML и голландское правительство как надежных партнеров. Для политических лидеров важнее было влияние на рабочие места, а не геополитика. Правительство США потребовало от ASML построить в США завод по производству компонентов для литографических инструментов, поставлять продукцию американским заказчикам и нанимать американский персонал. Однако основная часть НИОКР ASML будет проводиться в Нидерландах. Представители Министерства торговли, Национальных лабораторий и компаний, принимавших участие в проекте, говорят, что не помнят, чтобы политические соображения играли какую-либо роль в принятии правительством решения о реализации этого соглашения.

Несмотря на длительные задержки и огромный перерасход средств, партнерство в области EUV постепенно продвигалось вперед. Не имея возможности участвовать в исследованиях, проводимых в национальных лабораториях США, компании Nikon и Canon решили отказаться от создания собственных EUV-инструментов, оставив ASML единственным в мире производителем. Тем временем в 2001 году ASML купила SVG, последнюю крупную американскую компанию, занимавшуюся литографией. SVG уже значительно отставала от лидеров отрасли, но снова возникли вопросы о том, соответствует ли эта сделка интересам безопасности Америки. В DARPA и Министерстве обороны, которые на протяжении десятилетий финансировали литографическую промышленность, некоторые чиновники выступили против продажи. Конгресс также выразил озабоченность: три сенатора написали президенту Джорджу Бушу, что "в итоге ASML получит все технологии EUV для американского правительства".

Это было неоспоримой правдой. Но могущество Америки находилось на пике. Большинство людей в Вашингтоне считали, что глобализация - это хорошо. В правительстве США преобладало убеждение, что расширение торговли и логистических цепочек будет способствовать миру, побуждая такие державы, как Россия или Китай, сосредоточиться на приобретении богатства, а не геополитической мощи. Утверждения о том, что упадок американской литографии поставит под угрозу безопасность, считались не соответствующими новой эпохе глобализации и взаимосвязи. В то же время представители индустрии микросхем просто хотели как можно эффективнее производить полупроводники. В условиях отсутствия крупных американских литографических компаний им оставалось только сделать ставку на ASML?

Intel и другие крупные